新增8英寸級高端微納加工與測試新設(shè)備上海交大AEMD平臺二,、三期啟動運(yùn)行
日期:2024-11-29 來源:原創(chuàng)/投稿/轉(zhuǎn)載 瀏覽次數(shù):179
中國青年報(bào)客戶端訊(何奕辰 中青報(bào)·中青網(wǎng)記者 王燁捷)11月26日,,上海交通大學(xué)先進(jìn)電子材料與器件平臺(以下簡稱“AEMD平臺”)迎來十周年慶,同時平臺正式宣布開放二期,、三期運(yùn)行,。
AEMD平臺創(chuàng)建于2012年,一期凈化工程于2014年建成并于同年11月正式向校內(nèi)外用戶開放服務(wù),。據(jù)介紹,,AEMD二期、三期新增8英寸級高端微納加工與測試新設(shè)備,。新平臺將有效增強(qiáng)其在有源電子,、光學(xué)材料與器件、三維異質(zhì)集成封裝,、微納光學(xué),、先進(jìn)納米材料與器件等研究領(lǐng)域的支撐服務(wù)能力,助推上海交大微納加工能力從“無源器件”提升到“有源器件”加工水平,。